潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——Edwards真空分子泵,分子泵
现货出售爱德华 Edwards nEXT 240分子泵及提供维修保养服务,欢迎来电咨询
概述—— nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。
基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
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Edwards爱德华EXT200/200H GCMS质谱仪用设备泵维修
二手爱德华分子泵,Edwards爱德华分子泵保养
广州潽拓光电科技有限公司主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等一线品牌分子泵。Edwards爱德华STP/EXT/NEXT/SCU全系列分子泵及控制器,原厂技术,提供备用泵(爱德华二手分子泵)维修经验丰富,拥有完善的分子泵维修流程及专业的动平衡设备,技术可靠,维修价格合理,免费提供相关技术支持。欢迎来电咨询。